Procesa dzesēšanas ūdens sistēma sastāv no šādām daļām: dzesētāji, sūkņi, siltummaiņi, ūdens tvertnes, filtri un procesa aprīkojums.
Ūdens dzesētājs: nodrošiniet dzesēšanas ūdens sistēmas aukstuma avotu.
Ūdens sūknis: saspiediet ūdeni, lai nodrošinātu tā cirkulāciju dzesēšanas sistēmā.
Siltummainis: izmantojiet šo aprīkojumu, lai apmainītos ar siltumu starp atdzesētā ūdens sistēmu un atdzesētā ūdens sistēmu, lai pārnestu siltumu, kas rodas sistēmas slodzes galā, uz atdzesētā ūdens sistēmu.Ir daudz veidu siltummaiņu, kurus pēc to formas var iedalīt apvalka un cauruļu tipa, plākšņu tipa, plākšņu spuras tipa, siltuma caurules tipa utt.Salīdzinājumam, plākšņu siltummaiņa priekšrocības ir mazs nospiedums un liels siltuma pārneses laukums.Ņemot vērā telpas un platības izmaksu īpašības“pusvadītāju rūpnīcai, iekārtām ar nelielu platību priekšroka tiek dota, lai ietaupītu zemes platību un inženiertehniskās izmaksas.
Ūdens tvertne: ūdens tvertne atvērtajā sistēmā galvenokārt pilda ūdens avota papildināšanas lomu.Ūdens tvertnei slēgtajā sistēmā ir jāizvēlas izplešanās ūdens tvertne.Izplešanās ūdens tvertnei ir trīs funkcijas.Viens no tiem ir ierobežot un kompensēt ūdens izplešanos un saraušanos sistēmā;otrs ir nodrošināt stabilu spiedienu slēgtajā cirkulācijas ūdens sistēmā un piedalīties sistēmas stabilizācijā;Trešais ir kā norāde par sistēmas ūdens sūkni, parasti izplešanās tvertne nosūta signālu, lai iedarbinātu vai izslēgtu sistēmas ūdens sūkni.
filtrs: izfiltrē cietās daļiņasProcesa dzesēšanas ūdens sistēmā ir divas relatīvi neatkarīgas sistēmas, atdzesētais ūdens un dzesēšanas ūdens.Atdzesētu ūdeni nodrošina dzesētājs, un atdzesētais ūdens un dzesēšanas ūdens apmainās ar siltumu, lai atdzesētu dzesēšanas ūdeni un samazinātu iekārtas temperatūru.Ūdens tiek sūknēts no ražošanas iekārtas caur ūdens sūkni uz siltummaini, lai nodrošinātu procesa dzesēšanas ūdens temperatūru, kontrolējot atdzesētā ūdens daudzumu, un pēc tam tiek nosūtīts uz ražošanas līnijas aprīkojumu pēc filtra izlaišanas un pēc tam atpakaļ uz ūdens sūknis.Veidošanās procesā dzesēšanas ūdens atkārtoti cirkulē.Atdzesētais ūdens tiek tieši atgriezts dzesētājā.